全自動插板閥-AGV（Auto Gate Valve）

■■： 在CVD、ETCH、DIFF、T/F等Powder較多工藝的部門，常因PUMP不預期停機，導致氣體回灌，腔體污染，從而導致不良品發生。同時還要對已污染腔體進行清潔保養，嚴重影響生產計劃，降低產能。
■■： Gate Valves通過添加PUMP ON/OFF NC干接點，實現PUMP和Main Controller 的通信， 當PUMP異常停機時，Main controller收到信號后，立即關閉閥門，預防氣體回灌，并保持管路壓力。

■ 特點： 快速氣動驅動裝置在（0.2秒內關閉） 擁有低粒子生成屏蔽機制 打開/關閉循環期間的低沖擊/運動 恒定泄漏率 Protection Ring保護 閥門打開狀態時獨特的直通設計，很好的保護驅動機構 隱藏式密封圈設計 內嵌式加熱棒直接加熱閥體 ■ 優勢： 彈性體密封閘閥的最佳真空性能 可靠的性能 不利工藝條件下的長周期壽命 易于維護

常見問題：

1. Q:GATE VALVES安裝需要提供什么？
   A: 需要提供單項AC220電源和CDA或N2氣體，來支持整個系統的正常運行。
2. Q:GATE VALVES可否進行加熱？
   A: 我司AGV&PGV產品閥體由是不銹鋼件、鋁件、密封套件組成，因密封套件限制，建議加熱溫度不超過180℃；HT-AGV自帶加熱系統，可直接對閥體進行加熱，建議使用溫度80℃左右。
3. Q:產品關閉時間分別是多久？關閉數據是如何獲取的？
   A: PGV關閉時間≤ 0.8秒，HT-AGV&AGV關閉時間≤0.2秒；通過高速相機獲取閥門開關狀態的結點，從而得到閥門關閉時間。
4. Q:Pump異常Gate Valves關閉后，腔體壓力會保持穩定嗎？
   A: PGV&AGV產品區別于機械式逆止閥產品，設計之處擁有保持壓力和防反腔的功能。
5. Q:當FAB突然停電時， Gate Valves是否失效？
   A: 設計之初已考慮到此狀況的發生，因為動力單元是壓縮空氣，同時控制器內部裝有儲能電容，可在響應時間范 圍內控制閥門關閉。
6. Q:GATE VALVES默認是否只能保持關閉動作？
   A: 不是，可設置默認開啟狀態或默認關閉狀態，出廠設置默認為閥門關閉狀態。
7. Q:貴司Gate Valves產品Bypass valve功能是？
   A: Bypass valve可使AGV在關閉狀態，進行真空管道上下壓力同步，防止在Pump Turn On時，由于壓差突然變化，導致Pump過載、異?？ㄋ赖葐栴}發生。
8. Q:貴司多通道控制器最多可以同時控制幾個Gate Valves？
   A: 多通道AGV控制器目前最多可設計為4通道，同時控制4個Gate Valve的開關。
9. Q:貴司控制器可否查詢Pump異常后閥門的關閉日志？
   A: 可以，控制器擁有運行日記審視及記錄功能，可記錄報警時間，時間精確到秒。
10. Q:貴司控制器可否手動控制Gate Valves的關閉？
    A: 可以，控制器擁有控制閥門開關功能；關閉后可進行機臺的日常保養。
11. Q:產品質保期限是多久？
    A: 1 年
12. Q:貴司AGV相比PGV產品有什特點？
    A: ①AGV關閉時間快≤0.2秒；②AGV打開時可形成管道的獨特設計，可以使得閥門擁有更好的使用壽命和 穩定性；③同等條件下AGV比PGV擁有 更高的使用壽命。