The Heating Jacket System  

1.“加熱帶”，又稱為“包覆式加熱器”

2.加熱帶是用來維持半導體產業中所使用的真空管路、氣體管路中的溫度。

3.當氣體管路中的溫度維持于一定范圓內時，制程所產生的生成物將不易沉積或堵塞于管路中，因而可以減少機臺的保養次數，同時可以延長相關沒備的壽命。

4.加熱帶于半導體制程中，扮演著不可或缺的角色，尤其在WCVD Process,Metal Etch Process, LP-CVD NitrideProcess中，這種極容易產生化學生成物的制程中，更是需要加熱帶來解決管路阻塞問題。

制造方法

? 因采用特殊的專利性熱射線固定,故穩定性及安全性較高。

? 合并CAD及熱線縫紉機器, 用CAD設計熱量的分布,基于此分布設計設置相關熱射線，所以不管管道的
形態是什么樣的對應熱量可以非常均勻且穩定的分布.

? 因為采用的設備是最高級且最新型的溫度控制設備，所以能夠全面有效的進行管理。
 

維護

? 因采用特性優異的高價資材，所以壽命非常長，而且不會存在粘在管道上
的問題，所以交換起來容易。
? 不會存在對于半導體或者LCD工程非常不利的Particle(提高收益率）。
? 產品的保障期限為1年
? 在制造產品時是以方便粘貼及交換的方式來制作的，所以裝卸較為簡單。
? 維護費用非常低。
 

其他

? 因生產自動化部分較多，生產TAT(Turn Around Time)較短,所以對比其他
競爭公司交貨期間非常短.
? 在溫度管理系統中注入了包括Interlock的3個階段安全設施，最大限度
的提高了安全性
? 運用各工程類別品質管理系統，維持均勻的高品質性能。

產品競爭力/熱能分布

           劣質公司                      MOL M&&E

改善前                           改善后

改善前                                     改善后

產品結構

產品應用

使用資財

? 使用PTFE、Silica,彌補了前期產品固有的各項問題點(內溫, 壽命, 硬化, 炭化等)

? 雖然資材價格較高,但是能夠通過自動化大幅度減少人工費,總體而言會提高價格競爭力.

? 所使用的熱射線為12?200根Stainless Steel,因熱銷能高所以對比其他公司電力消費降低30%，故不會
存在線路中斷的情況。